«Представьте: ДК «Зеленоград», 1984 год. Вуз награждается орденом Трудового Красного Знамени. Министр высшего образования В.П. Елютин торжественно начинает свою речь: «МИЭТ — один из лучших вузов страны…» С места вскакивает министр электронной промышленности Александр Шокин: «Ну что вы, Вячеслав Петрович! Скажите честно: МИЭТ — лучший вуз страны!» И зал взрывается аплодисментами…»

Об этом эпизоде часто рассказывает профессор кафедры интегральной электроники и микросистем (ИЭМС), заслуженный профессор МИЭТа Михаил Александрович Королёв. Он был участником той легендарной встречи и помнит, как гудели его ладони после тех аплодисментов.

Зная, что у Михаила Александровича есть ещё множество подобных историй, мы попросили его поделиться ими с читателями «ИНверсии». Тем более, что повод отличный: МИЭТу — 55, а Михаил Александрович работает в наших красных стенах немногим меньше. Он заслуженный деятель науки РФ и почётный работник электронной промышленности СССР, награждён нагрудными знаками Минвуза СССР и «Изобретатель СССР».

— Михаил Александрович, вы ведь являетесь одним из самых давних сотрудников МИЭТа, так?

— Да, в следующем году будет ровно полвека с момента, когда я переступил порог этого вуза.

— Но вы же в 60-х работали в Москве, в Институте точной механики и вычислительной техники. Как вы оказались в Зеленограде?

— Когда я работал в ИТМ и ВТ АН СССР, меня часто посылали в Зеленоград на всевозможные научные предприятия. И в это же время я сотрудничал с отделом науки газеты «Московская правда», где однажды завотделом предложил мне написать статью о новом вузе — Московском институте электронной техники. И тогда я не стал откладывать это в долгий ящик и поехал на встречу с первым ректором Леонидом Николаевичем Преснухиным.

— Как вас встретил новый вуз?

— Прекрасно. Стояла осень, но погода была очень хорошая и мы с Леонидом Николаевичем разговаривали, сидя на скамейке перед временным зданием вуза. Ректор рассказывал мне о системе подготовки студентов: на младших курсах будут даваться глубокие знания по фундаментальным наукам, а на старших ребята будут обучаться на базовых кафедрах, расположенных на предприятиях отрасли. То есть тогда МИЭТ ориентировался на ведущих разработчиков интегральных микросхем: НИИ молекулярной электроники, НИИ физических проблем и НИИ точной технологии, НИИ материаловедения и так далее. Леонид Николаевич показал мне проекты будущего здания МИЭТа. Я был впечатлён и архитектурными решениями, и техническими возможностями.

— А когда вы стали сотрудником МИЭТа?

— Меня пригласил заведующий и основатель кафедры интегральных полупроводниковых схем (ИПС) МИЭТ Камиль Ахметович Валиев. Это было в сентябре 1971 года. Но, правда, до этого мы были знакомы с ним достаточно давно, так как, кроме этой должности, Камиль Ахметович являлся директором крупного предприятия — НИИМЭ, а ИТМ и ВТ с ним плотно сотрудничал. Из НИИМЭ, кстати, в МИЭТе проводили учебные занятия и такие известные инженеры-практики, как А.П. Голубев, Б.А. Безбородников, Б.В. Баталов, Ю.И. Пашинцев. Камиль Ахметович часто вспоминал, что в условиях напряжённой работы в НИИМЭ кафедра ИПС была для него «душевным оазисом».

— Говорят, что Камиль Ахметович на заседаниях кафедры мог обсуждать и проблемы глобальной физики, и новости из мира литературы…

— Ответственно подтверждаю. Заседания кафедры проходили по субботам и могли продолжаться целый день. Часто там присутствовали не только наши преподаватели, но и некоторые сотрудники НИИМЭ, с которыми К.А. Валиев хотел бы встреться в неформальной обстановке: как он говорил — «вне суеты деловой повседневности». Камиль Ахметович — татарин по национальности, но он блестяще знал русский язык и был хорошим знатоком и русской, и татарской литературы. Поэтому да, эта область часто бывала на повестке дня. — Наверное поэтому в лекционных залах, когда он читал лекции, яблоку негде было упасть.

— Да, Валиев, как говорится, с помощью палки и верёвки мог объяснить самые сложные физические явления. На его лекции приходили даже сотрудники зеленоградских НИИ.

— Расскажите о научных разработках, созданных на кафедре ИПС.

— Наши первые научные исследования были посвящены области разработки конструкций и технологий формирования ИС. Эти работы особенно интенсивно велись после прихода в 1981 году на должность заведующего кафедрой Виталия Дмитриевича Вернера, который был проректором МИЭТа по науке и прекрасно понимал, что для высокого уровня образовательного процесса обязательным условием является и соответствующий высокий уровень научных исследований. В частности, в аудитории 4242 была создана мощная технологическая отраслевая научно-исследовательская лаборатория (ОНИЛ), которой руководил Н.М. Луканов, тоже перешедший в МИЭТ из НИИМЭ. Эта лаборатория занималась разработкой и изготовлением биполярных ИС повышенного быстродействия и фактически заложила основы для создания в МИЭТе (по инициативе В.Д. Вернера) нового структурного подразделения — НПК «Технологический центр», выросшего впоследствии в крупную научно-техническую организацию. Очень приятно, что возглавил этот Центр выпускник нашей кафедры А.Н. Сауров (ныне академик РАН ).

— А какими научными работами руководили вы?

— Одной из первых научных задач, которую мне пришлось решать, была разработка метода управления величиной порогового напряжения МОП-транзистора, 1973-й год. В результате проведённых исследований нами было предложено оригинальное решение: наносить на слой оксида кремния плёнку оксида железа, что сместит зарядовое состояние системы в сторону отрицательных значений. Большой цикл работ был посвящён новому и очень перспективному направлению в микроэлектронике — трёхмерным интегральным схемам на основе структур КНИ (кремний-на-изоляторе). Был также разработан оригинальный способ формирования КНИ- структур с использованием лазерной рекристаллизации плёнок поликремния, нанесённых на окисленную кремниевую подложку. Оборудования для осуществления этого процесса не было даже в мировой практике. Пришлось создать технологический стенд для лазерной рекристаллизации плёнок поликремния, скомбинировав подвижный стол от фотолитографической установки совмещения и твердотельный лазер на основе алюмо-иттриевого граната. Для увеличения степени поглощения энергии излучения лазера структурами был предложен оригинальный метод лазерной рекристаллизации поликремния – косвенный лазерный нагрев (КЛН). Структуры и процесс защищены авторскими сиятельствами, КНИ- структуры были представлены на специализированной выставке на ВДНХ и получили серебряную медаль. Вообще, если сейчас вспоминать мою роль в науке за почти 50 лет в МИЭТе, то нам надо растягивать это интервью на несколько номеров «ИНверсии».

— Интересное предложение. Рассмотрим. В начале «нулевых» годов в учебный процесс кафедры ИЭМС была внедрена система элитного технического образования на основе международных образовательных центров, расположенных в МИЭТе. Расскажите, как это было?

— Ведущие мировые фирмы США в области разработки программного обеспечения, необходимого при проектировании интегральных микросхем и моделирования процессов их изготовления, Cadence и Synopsys, проявили большой интерес к подготовке магистров по этим направлениям на нашей кафедре. Они безвозмездно оснастили учебные центры необходимым оборудованием и программными продуктами, предложили выдавать выпускникам соответствующие международные сертификаты. Для оказания помощи в организации учебного процесса, из США этими фирмами направлялись в МИЭТ сотрудники, имеющие опыт в формировании подобных образовательных центров в других странах.

Конечно, организовать такую систему было достаточно сложно, и то, что она была успешно реализована на кафедре ИЭМС, заслуга, в первую очередь, президента МИЭТа Ю.А. Чаплыгина (на тот момент он был ректором), а также профессора М.Г. Путря, доцента Л.Ю. Шишиной, профессора Т.Ю. Крупкиной, доцента А.Ю. Красюкова. Да и мне (я в этот период был деканом факультета) пришлось принимать непосредственное участие для реализации этой интересной идеи как на нашей кафедре, так и на кафедре ПКИМС. Нас впоследствии особенно радовало то, что даже в такое трудное для отечественной микроэлектроники время наши выпускники стали крайне востребованы российскими фирмами, занятыми разработкой интегральных микросхем, которые обеспечивали их после окончания магистратуры не только интересной работой, но и вполне достойной зарплатой.

— Мы знаем, что в 70-х годах, наряду с активным научным творчеством, в МИЭТе кипела работа по формированию архитектурного облика вуза. Создавался барельеф «Становление человека разумного». Расскажите о вашей встрече с Эрнстом Неизвестным.

— Я познакомился с ним в 1971 году, когда художественное оформление интерьеров зданий МИЭТа уже шло полным ходом. Однажды, придя в институт, я обратил внимание на человека в рабочей робе, который, стоя на высоких строительных лесах, что-то делал с внешней стенкой библиотеки. Когда он спустился вниз, мы познакомились. Эрнст рассказал, что формирует на стенах вокруг библиотеки громадный барельеф, посвящённый становлению человека разумного.

Моё поколение помнит, как на выставке в Манеже Н.С. Хрущёв обругал скульптуру женщины, которую сделал Неизвестный, и после этого художнику было трудно получать заказы. И даже миэтовский рельеф ему разрешили делать лишь на ограниченной площади — всего на три внешние стены библиотеки. Но он сделал его, как задумал, оформив четвёртую стену «за свой счёт». Чиновники из Союза художников СССР после возмущались по этому поводу: дескать, снижает принятые в Союзе расценки за квадратный метр при создании рельефов. Кстати, кроме рельефа Эрнст Неизвестный создал ряд деревянных рельефных портретов знаменитых учёных, которые раньше были размещены на стенах внутри библиотеки.

— Это неудивительно. Студенты вашего факультета всегда были творческими людьми. Чего стоит придуманный вами флаг с воронёнком и легендарное посвящение в первокурсники...

— Флаг ФТ-факультета с чёрным воронёнком на зелёном фоне считался нашим символом мудрости, предприимчивости и долголетия. А ещё первокурсники торжественно клялись: «Помнить, что наука создана для человека, а не человек для науки», «Всегда и везде, не смыкая глаз, искать философский смысл», «Будучи отчисленным, вечно помнить свой факультет»… Ну и другие забавные речёвки были. Ещё одной славной традицией являлся День ФТ-факультета (позже День ЭКТ).

Праздник обычно начинался с пресс-конференции, когда представителям кафедр, сидящим на сцене, студенты задавали весёлые каверзные вопросы, на которые те должны были ответить. После этого выступали сотрудники кафедр факультета с заранее подготовленными юмористическими программами, а затем приветствия кафедрам и художественные номера представляли студенты. Показывались и фильмы, созданные факультетской киностудией «Рафинад». Но гвоздём Дня ФТ был конкурс претендентов на звание Короля и Королевы ФТ-факультета. От каждого курса выдвигалась пара, которая и проходила всякие смешные испытания. Победитель определялся уровнем громкости аплодисментов в зале, который измерялся специальным «шумометром», приносимым с кафедры физики. Вспоминаю один конкурс, когда претендентки на звание Королевы должны были, не касаясь руками, как можно быстрее съесть зелёный горошек, выложенный на плоских блюдцах. Было смешно смотреть на девушек, вылизывавших горошины языком и губами. Но одна из претенденток спокойно достала шпильку из волос и с достоинством накалывала горошины и отправляла их в рот. Зал грохнул аплодисментами — всем ясно стало, кто из них Королева!

— Сегодня в МИЭТе при слове «газета» сразу вспоминается «ИНверсия» (с 2019 г. наше издание стало журналом – прим. ред.). Но ведь раньше для студентов святая святых была стенгазета?

— Да, в 80-х многие выпускали стенгазеты, собирались компаниями. Наша факультетская стенная газета называлась «Резонанс». Выходила часто, быстро, состояла из рисунков, выполненных в специфической художественной манере на чертёжных листах ватмана, соединённых вместе. Кстати, в отличие от «ИНверсии», она могла меняться несколько раз на дню: то партком требовал убрать один из рисунков, то число этих рисунков, наоборот, увеличивалось, если происходило событие, которое необходимо было отметить в газете. Но особенно было интересно художественное оформление: в стиле, который сами авторы назвали «гадизм». Вообще, для того периода выражать мысли в подобной форме было очень популярно.

— А каким МИЭТ был в «лихие девяностые»?

Девяностые пришлись на первую половину срока мой работы в качестве декана факультета. Были, естественно, сложности, связанные с общей обстановкой в стране. Была упразднена кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТЭФ), и на её базе и частично за счёт кафедры ИЭМС организованы кафедры квантовой физики и наноэлектроники (КФН) и биомедицинских систем (БМС). Трудно было объяснить сотрудникам факультета этот шаг — многие, в том числе и К.А. Валиев, сочли это как сокращение объёма подготовки студентов по фундаментальной физике. Однако опыт работы новых кафедр, руководителями которых стали выпускники нашего факультета А.А. Горбацевич и С.В. Селищев, в последующие годы показал, что несколько прикладной характер, по сравнению с бывшей кафедрой ТЭФ, тематики образовательного процесса и научных исследований не только не увёл от глубокого понимания физических явлений, но и позволил получить конкретные практические результаты в прорывных областях современной наноэлектроники и медицинской техники. Удалось также восстановить ряд традиций факультета, утерянных в начале девяностых, в частности, празднование Дня факультета. На этом празднике появилась новая традиция — ветераны выпусков прошлых лет дарят большую головку сыра для факультетского воронёнка.

— Последний вопрос в рамках нашего разговора не будет оригинальным, но всё-таки. Каким вы видите современный МИЭТ?

— Я отвечу очень просто: для меня МИЭТ остался лучшим вузом страны. А что касается интересных историй последних лет… Большое видится на расстоянии. Давайте встретимся с вами лет через пять-десять, и к этому времени я, даст Бог, соберу ещё больше интересных историй, которые, надеюсь, придутся по вкусу вашим читателям.

— Договорились!

Ирина Доронина